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期刊论文
高性能MOS结构高频C-V特性测试仪
高性能MOS结构高频C-V特性测试仪
来源 :电测与仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaihoufu
【摘 要】
:
MOS结构高频C-V(电容-电压)特性测量是检测MOS器件制作工艺的重要手段.本文阐述了用高频检测法测量MOS电容的原理,介绍了用变频技术和集成芯片设计MOS结构高频C-V特性测试仪
【作 者】
:
陈国杰
曹辉
谢嘉宁
【机 构】
:
佛山大学
【出 处】
:
电测与仪表
【发表日期】
:
2004年11期
【关键词】
:
MOS结构
C-V特性
高频
测试仪
MOS器件
特性测量
电容
电压
变频技术
集成芯片
MOS capacitor frequency conversion
【基金项目】
:
广东省教育厅自然科学基金
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MOS结构高频C-V(电容-电压)特性测量是检测MOS器件制作工艺的重要手段.本文阐述了用高频检测法测量MOS电容的原理,介绍了用变频技术和集成芯片设计MOS结构高频C-V特性测试仪的方法.该测试仪电路简单,成本低,分辨率高,测量准确,稳定性好.
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