【摘 要】
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本文通过对引进国外大型磁控溅射镀膜玻璃生产线增设高真空抽气系统国产化技改工作及为开发反应膜对工艺溅射室分隔的技改工作，应用镀膜技术及原理成功地解决了一些技术问题，达
【机 构】
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秦皇岛耀华镀膜玻璃厂,沈阳真空机械厂
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本文通过对引进国外大型磁控溅射镀膜玻璃生产线增设高真空抽气系统国产化技改工作及为开发反应膜对工艺溅射室分隔的技改工作，应用镀膜技术及原理成功地解决了一些技术问题，达到了提高产品质量，开发新产品之目的
In this paper, the introduction of foreign large-scale magnetron sputtering glass coating production line by adding high-vacuum pumping system of domestic technical transformation work and for the development of reactive membrane separation process sputtering chamber separation work, the application of coating technology and principles successfully solve some Technical problems, to achieve the purpose of improving product quality, develop new products
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