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高纯度二氧化硅作为一种重要的工业原料，广泛用于半导体密封树脂填充料、基片、电子原件、高纯度石英玻璃、光纤维、太阳能电池等。目前，高纯度二氧化硅主要采用以下3种制取工艺：①用硅氯化物如四氯化硅和硅酸酯氧化分解或水解；②用碱金属硅酸盐与无机酸反应，生成硅胺，洗涤，除去副生盐分；③利用高纯度天然水晶。第一种工艺原料昂贵，生产效率也低；第三种工艺资源受限，无法批量生产；第二种工艺虽简便且价廉，但不易制取高纯度二氧化硅。