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消除AlN陶瓷基片色斑
消除AlN陶瓷基片色斑
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Linuxy
【摘 要】
:
AlN基片的色斑会影响外观,引起用户对基片性能的疑虑。通过XPS、热力学分析等方法,证实了碳的金属化合物是造成氮化铝陶瓷色斑的根源;采取控制氮化铝粉质量、改进排胶和烧结工艺、疏通
【作 者】
:
黄岸兵
【机 构】
:
信息产业部第43研究所
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
氮化铝
色斑
生产工艺
碳化物
AlN
color spots
manufacturing technology
carbide
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AlN基片的色斑会影响外观,引起用户对基片性能的疑虑。通过XPS、热力学分析等方法,证实了碳的金属化合物是造成氮化铝陶瓷色斑的根源;采取控制氮化铝粉质量、改进排胶和烧结工艺、疏通气路等措施,可消除色斑。
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