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从多极场像差校正理论出发，根据六极场对三级偏转像差的影响，提出了基于Ｔｒｉｌｅｍｍａ常数调整的偏转像差校正方法，这种方法使偏转像差的校正更方便，更直观，同时可以应用于大偏转角偏转像差的校正。
基于Trilemma常数调整的偏转像差校正
【摘 要】
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从多极场像差校正理论出发，根据六极场对三级偏转像差的影响，提出了基于Ｔｒｉｌｅｍｍａ常数调整的偏转像差校正方法，这种方法使偏转像差的校正更方便，更直观，同时可以应用于大偏转角偏转像差的校
【机 构】
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东南大学电子所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年4期
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