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介绍了一种用以泵浦XeF（C-A）激光的横向表面放电辐射源，比较详细地研究了这种泵浦源的放电击穿特性、放电电流与充电电压及不同气体介质的关系、表面放电均匀性以及不同气体成分对表面放电辐射特性的影响。得到了放电击穿时间、放电峰值电流随充电电压、不同气体介质变化的曲线；分析了提高放电均匀性的途径，在电极长50cm、间距6cm、充电电压25kV条件下获得了均匀放电。获得了各种实验条件下放电辐射的光谱曲线；通过对辐射光谱的分析，研究了有利于光解离XeF2的最佳实验条件，当)pAr∶)pN2＝1∶1时，放电在远紫外