φ4m口径凹抛物面镜折反零位补偿检验

来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qianchen912009
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折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验方法,补偿能力强,检测光路紧凑。大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题,针对口径为4121、偏心率为1、顶点曲率半径为16m的大口径凹抛物面反射镜,设计了折反射式零位补偿器。基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了规划和计算,采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化,得出了补偿器的最终结构,检验光路轴向尺寸约12m,系统优化后剩余波相差为0.005A。设计和仿真结果表明,这种折反射式零位补
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