单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

来源 :第十届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kiry250
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介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80~110 kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa.
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