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“二次扩散—一次氧化—镀镍”工艺生产晶闸管管芯
“二次扩散—一次氧化—镀镍”工艺生产晶闸管管芯
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shanghairenxuchenhui
【摘 要】
:
“全扩散-镀镍”工艺具有节省黄金、技术简单与经济性较好的优点,国内曾报道过,本文介绍的是“二次扩散-一次氧化-镀镍”工艺,它比前者更简单,一般厂家都能采用。
【作 者】
:
李汉文
【机 构】
:
武汉半导体器件三厂
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1990年6期
【关键词】
:
晶闸管
管芯
工艺
扩散
氧化
镀镍
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“全扩散-镀镍”工艺具有节省黄金、技术简单与经济性较好的优点,国内曾报道过,本文介绍的是“二次扩散-一次氧化-镀镍”工艺,它比前者更简单,一般厂家都能采用。
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