微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立

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微牛、纳牛范围力值计量研究是目前国际计量领域的重要研究发展方向。总结了美国标准技术研究院、英国国家物理实验室、德国物理技术研究院、韩国标准和科学研究院等研究机构近年来研制的可溯源到SI的微纳力值标准装置、微纳力值传感器、参考悬臂梁以及微纳力值溯源方法。提出了微纳力值溯源体系的框架,为新材料、生物、微电子等各应用领域微纳力学特性计量量值溯源提供了技术保证。
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