石油勘探MEMS传感器的研究

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用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
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