【摘 要】
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在气压40~80 Pa和微波功率400~800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表明,OES法测试得到的电子温度介于0.75 eV到4 eV之间。在含碳气体的微波同轴线型等离子体中使用OES方法进行诊断是可行的,这些研究结果可以进一步拓展OES方法在等离子体增强化学气相沉积领域中的应用。
【基金项目】
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国家重点研发计划(No.2019YFA0210202),国家自然科学基金(No.61971097),四川科学技术计划(No.2018HH0136),四川省太赫兹科学技术重点实验室基金(No.THZSC201801)。
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在气压40~80 Pa和微波功率400~800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表明,OES法测试得到的电子温度介于0.75 eV到4 eV之间。在含碳气体的微波同轴线型等离子体中使用OES方法进行诊断是可行的,这些研究结果可以进一步拓展OES方法在等离子体增强化学气相沉积领域中的应用。
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