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期刊论文
微区电学测试探针技术
微区电学测试探针技术
来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hua6952
【摘 要】
:
本文阐述了微区电学测试的重要性,对探针的微区测试条件及方法作了评价。最后提出若干种适合微区薄层电阻测量的测试结构。
【作 者】
:
孙冰
【机 构】
:
天津计量技术研究所300192
【出 处】
:
半导体杂志
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
探针技术
微区
电阻率
Probe technique
microareas
resistirity
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本文阐述了微区电学测试的重要性,对探针的微区测试条件及方法作了评价。最后提出若干种适合微区薄层电阻测量的测试结构。
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