Silvaco TCAD仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的应用

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作为微电子、集成电路等专业高年级本科生和研究生的核心专业课程,《半导体物理与器件》相关课程对信息技术产业的作用已经处于无法取代的地位。本文讨论了展示了利用Silvaco TCAD模拟仿真软件在《半导体物理与器件》科研导向型教学中的重要辅助作用,从四个方面分析了该软件在学生科研能力培养工作的促进作用。对提升人才培养质量和促进学生科研能力进行了新探索。
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