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采用磁过滤真空溅射离子沉积技术制备了一组非晶CN薄膜,利用红外光谱,紫外-可见吸收光谱和电导测量研究了其光学和电学性质,用X射线光电子能谱确定膜中N的原子百分比,结果表明a-CN膜有2200,1500和1350cm^-1三个吸收带,表明C和N是以化学共价键形式结合的。这种膜有较宽的光能隙4.14eV,极代的电导率10^-15(Ω.cm)^-1,膜中N原子百分比最大为47%。