【摘 要】
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采用低压化学气相沉积（LPCVD）在玻璃衬底上制备了B掺杂ZnO（BZO）薄膜,研究了氢气气氛退火对BZO薄膜光学性能和电学性能的影响。结果表明：在氢气气氛下退火后,BZO薄膜的物相结构和透
【机 构】
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采用低压化学气相沉积（LPCVD）在玻璃衬底上制备了B掺杂ZnO（BZO）薄膜,研究了氢气气氛退火对BZO薄膜光学性能和电学性能的影响。结果表明：在氢气气氛下退火后,BZO薄膜的物相结构和透光率基本无变化,但BZO薄膜的导电能力却明显提高。Hall测试结果表明：在氢气下退火时载流子浓度基本保持不变,但迁移率却明显提高。实验结果可为进一步提高BZO薄膜的光学电学综合性能提供借鉴。
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