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扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究(二)
扩散硅压力传感器误差补偿方法的研究(二)
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanghuatao88
【摘 要】
:
<正> 二、差压传感器特性鉴定系统 为了能够运用“群特性”进行“软补偿”,必须建立与三维校验法相配套的传感器特性鉴定系统。我们在差压变送器的高压腔和低压腔同时用同一
【作 者】
:
尹永观
葛军
李文卓
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所,沈阳仪器仪表工艺研究所高级工程师
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1991年3期
【关键词】
:
压力传感器
误差补偿
传感器
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<正> 二、差压传感器特性鉴定系统 为了能够运用“群特性”进行“软补偿”,必须建立与三维校验法相配套的传感器特性鉴定系统。我们在差压变送器的高压腔和低压腔同时用同一压力源加载就可以在零差压条件,测出不同温度时、不同静压下的附加误差n'_(spo),由于采用同一压力源加载,
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