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本文介绍了我国第一台喷气式Z箍缩等离子体装置的设计和运行,讨论了起始氩气密度对等离子体箍缩的影响,研究了热等离子体中的软X射线发射。这台装置的建成为我国进行X射线光刻技术的研究提供了一种重要手段。
喷气式Z箍缩等离子体装置的研制
【摘 要】
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本文介绍了我国第一台喷气式Z箍缩等离子体装置的设计和运行,讨论了起始氩气密度对等离子体箍缩的影响,研究了热等离子体中的软X射线发射。这台装置的建成为我国进行X射线光
【机 构】
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华北电力学院北京研究生部,清华大学,华北电力学院研究生部
【出 处】
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华北电力学院学报
【发表日期】
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1990年1期
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