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研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件，包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo／Si非周期多层膜结构，采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计；采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征，利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明，在13～19nm波段，s偏振分量的反射率高于15％；在15～17nm波段，获得了37％的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件，在13．8～15．5nm波段，宽带透射相移片的平均相移