论文部分内容阅读
研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13~19nm波段,s偏振分量的反射率高于15%;在15~17nm波段,获得了37%的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13.8~15.5nm波段,宽带透射相移片的平均相移