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基于近几年的文献报道，综述了110GHz以上固态功率放大器的现状和电路结构。归纳了每个固态放大器的工作频率、制作工艺、最大输出功率（Psal）、最大输出的压缩增益、小信号增益、1dB压缩点增益（P-），功率附加效率（PAE）、带宽等指标。对每个固态放大器的电路结构进行了总结，讨论了这些电路结构在太赫兹频段的应用。并根据ITRS的文献展望了未来固态晶体管的发展。最后讨论了未来太赫兹固态功率放大器集成到太赫兹数模系统的方式。