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全球第一条12英寸硅片生产线於1997年在德国德累斯顿兴建,至今已有7年的历史,由此开始了硅片由8英寸向12英寸过渡的序幕.
12英寸硅片生产线的进展
【摘 要】
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全球第一条12英寸硅片生产线於1997年在德国德累斯顿兴建,至今已有7年的历史,由此开始了硅片由8英寸向12英寸过渡的序幕.
【机 构】
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应用材料中国公司顾问
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2004年9期
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