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IBM公司12年X射线光刻研究和开发计划为X射线光刻建立了一系列里程碑。
IBM公司1980—1992年X射线光刻的发展
【摘 要】
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IBM公司12年X射线光刻研究和开发计划为X射线光刻建立了一系列里程碑。
【出 处】
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光机电世界
【发表日期】
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1994年12期
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