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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺在金属钛基底上制备SiO2薄膜。探讨了工艺条件对SiO2薄膜质量的影响。用X射线衍射（XRD）、红外光谱（FTIR）和扫描电镜（SEM）等测试技术对薄膜的表面组成、结构与形貌进行了研究。结果表明，当控制溶胶pH=3，n（TEOS）：n（H2O）：n（EtOH）=1：4：11时，在70℃下陈化10h可获得粘性适宜的溶胶，所镀的SiO2薄膜不发生龟裂，表面均匀多孔，孔径分布在2—3μm之间。所制备的SiO2薄膜在1．5倍模拟体液中浸泡10d后其表面迅速形成由球状碳磷灰石（C