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无定形硅薄膜在静电复印技术中的应用
无定形硅薄膜在静电复印技术中的应用
来源 :感光材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WanNianDog
【摘 要】
:
无定形硅薄膜在静电复印技术中的应用机电部天津复印技术研究所韩桂林化工部天津化工研究院韩坤1975年Spear[']等人用辉光放电法分解硅烷(SIH),并通过掺杂制得性能良好的无定形硅薄膜(a-St),无定形硅薄
【作 者】
:
韩桂林
韩坤
【出 处】
:
感光材料
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
复印
静电复印
无定形硅
薄膜
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无定形硅薄膜在静电复印技术中的应用机电部天津复印技术研究所韩桂林化工部天津化工研究院韩坤1975年Spear[']等人用辉光放电法分解硅烷(SIH),并通过掺杂制得性能良好的无定形硅薄膜(a-St),无定形硅薄膜作为高光敏的半导体感光材料,被用于太阳...
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