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根据载流子分布曲线近似，通过求解泊松方程，得到了多晶硅中电场及其电势的分布，计算了在不同掺杂浓度下多晶硅量子效应所引起的MOSFET阅值电压的偏移，并与数值模拟的结果进行了比较，表明其具有较好的准确性。
多晶硅量子效应及其对MOSFET阈值电压的影响
【摘 要】
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根据载流子分布曲线近似，通过求解泊松方程，得到了多晶硅中电场及其电势的分布，计算了在不同掺杂浓度下多晶硅量子效应所引起的MOSFET阅值电压的偏移，并与数值模拟的结果进行了比
【机 构】
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安徽大学电子科学与技术学院
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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2006年6期
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