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<正> 自从第一台电子计算机诞生以来,三十多年来已经历了——电子管式、晶体管式、集成电路式和大规模集成电路式,目前进到超大规模集成电路式。但目前有的专家认为,现代工业微电子技术已接近极限。工业集成电路生产工艺,在1平方毫米面积内已排列了近25万个电子元件,再增加密集度已有困难,必须寻求新的集成电路工艺。出路何在?在于