【摘 要】
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In the last years a variety of plasma sources have been developed for film depositionby plasma activated deposition techniques. In addition to RF- and DC-source
【机 构】
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LehrstuhlfurTheoretischeHuttenkunde
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In the last years a variety of plasma sources have been developed for film depositionby plasma activated deposition techniques. In addition to RF- and DC-sources, pulsedplasma sources are gaining increased attention. This interest is driven by the wish of
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