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微转子枢轴是MEMS（micro-eleclro-mechanical system）旋转机械中的主要驱动部件之一，在系统高速运转过程中会受到严重的摩擦磨损影响。文中采用统计学方法和分形方法分别分析微尺度效应对MEMS磨损的影响，建立半球形枢轴的数学模型，并分析其磨损率与摩擦力矩，探讨枢轴结构参数与操作参数对系统磨损特性的影响。仿真结果表明，尺度减小，磨损系数变小，增大载荷或增加微枢轴旋转次数均会加剧磨损程度。