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高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关健设备之一。它采用计算机智能控制，一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀，无需人工控制，腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4项寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关健技术、并给出了设备的性能测试指标。