利用激光跟踪仪测量大口径非球面几何参数

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在利用无像差点或补偿器测量非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法中,一般采用测量杆来测量干涉仪会聚点到辅助镜或补偿器的距离以及辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离。对于大口径非球面反射镜,由于顶点曲率半径长,辅助镜或补偿器到非球面顶点的距离达到几米的量级。为了提高测试精度,文章对offner补偿器面形测试光路中利用激光跟踪仪测量大口径非球面反射镜顶点曲率半径和二次非球面系数的方法进行了研究,介绍了该方法的测量原理、测量模型的建立、轴对称非球面反射镜顶点坐标的拟合算法及其它数据处理方法,并对顶点曲
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