【摘 要】
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根据三种基本类型的多光束干涉条纹形成原理,设计与制造了多功能干涉测量装置。该装置是借助于光学与机械结构的变换与组合,使之变换成多种型式的干涉仪,分别用于多种精密测
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所,
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根据三种基本类型的多光束干涉条纹形成原理,设计与制造了多功能干涉测量装置。该装置是借助于光学与机械结构的变换与组合,使之变换成多种型式的干涉仪,分别用于多种精密测量:测量微位移、微幅振动、薄膜厚度、表面粗糙度、光学零件的面形,角度以及分析激光器的模谱精细结构,
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