Nb-Cr基涂层的微观结构及初期氧化

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由磁控溅射技术沉积Nb-Cr、Nb-Cr-Al和Al/Nb-Cr 3种涂层,对涂层的微观结构和初期抗氧化性进行研究。结果表明:Nb-Cr涂层呈柱状结构,含Cr2Nb相;Nb-Cr-Al涂层为含非晶组织的柱状结构;Al/Nb-Cr复合涂层的内层保留了Nb-Cr的柱状结构,外层无明显特征,涂层包含面心立方(FCC)Al、Cr2Nb和NbAl3等相。在1 200℃氧化60 min后,3种涂层显示出不同的氧化增质方式及生成了性质各异的氧化产物:Nb-Cr涂层呈抛物线方式增质,表面产物为Cr2O3和CrNbO4多孔混合氧化物;Nb-Cr-Al涂层表现出近线性的氧化增质,表面生成以Cr2O3和CrNbO4为外层、Al2O3为内层的复合氧化物层,氧化膜中有裂纹和脱落,涂层主体呈多孔结构;Al/Nb-Cr复合涂层氧化增质轻微,表面膜以Al2O3为主、连续且致密,涂层中保持高Cr含量,Al/Nb-Cr涂层有较强的抗氧化能力。
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