【摘 要】
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解耦控制策略与控制参数校准技术是实现洛伦兹平面电机超精密运动控制的关键.在已有的动力学模型的基础上,采用基于模型逆变换的方法构建洛伦兹平面电机三自由度运动控制结构
【机 构】
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华北电力大学能源动力与机械工程学院,北京市 昌平区 102206;清华大学精密仪器与机械学系,北京市 海淀区 100084
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解耦控制策略与控制参数校准技术是实现洛伦兹平面电机超精密运动控制的关键.在已有的动力学模型的基础上,采用基于模型逆变换的方法构建洛伦兹平面电机三自由度运动控制结构,实现解耦控制.为进一步提高解耦控制精度,对运动系统中的不确定因素进行分析,通过校准解耦控制参数补偿不确定因素对精度的影响.提出了基于实测数据的最小二乘算法,对解耦控制中的位置相关解耦矩阵进行校准,并改进已有校准算法,对力相关解耦矩阵进行动态验证.实测结果证明了所提方法的有效性与可行性,该方法已成功应用于工程实践
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