【摘 要】
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为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对
【机 构】
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沈阳新松机器人自动化股份有限公司,东北大学机械工程与自动化学院
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为了系统的研究各参数对晶圆预对准精度的影响,建立了晶圆边缘数据采集模型,实现了在不同条件下包括缺口在内的晶圆边缘完整数据的采集,并在此基础上采用目前较为常见的预对准算法对晶圆的偏心及缺口位置进行计算,再将计算结果与设定的实际晶圆偏心及缺口位置进行对比,得到计算误差。通过对不同条件下仿真结果的对比,系统地研究了晶圆预对准过程中各参数对其精度的影响规律,获得了与晶圆预对准误差的控制、标定及补偿相关的重要结论。
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