【摘 要】
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叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。
Describes a new type o
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叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。
Describes a new type of micromachined servo accelerometer and compares it with the principles and performance characteristics of electromagnetic and variable capacitance linear accelerometers. Micro-mechanical servo accelerometer measurement up to ± 500m / s2, and can withstand 50000m / s2 high impact.
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