【摘 要】
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文章分析了CF(彩色滤光片)TN(扭曲向列)型无树脂衬底基板ITO(氧化铟锡)工艺后的破片机理,得出破片的主要原因为ITO膜层与玻璃基板直接接触,经过加热并急速冷却,造成基板内应
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文章分析了CF(彩色滤光片)TN(扭曲向列)型无树脂衬底基板ITO(氧化铟锡)工艺后的破片机理,得出破片的主要原因为ITO膜层与玻璃基板直接接触,经过加热并急速冷却,造成基板内应力增大,弯曲强度降低,遂发生破片;通过对HPCP(前烘炉)设备软体修改,对NG(不良品)基板识别后Bypass(设备不加工)处理,可以避免TN型Normal(正常)产品NG基板ITO工艺后的破片问题,从而取消其原有的Color Repair(基板修补)分片流程,提升了产线的整体运营效率;通过改变TN型COA基板在HPCP的冷却方式
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