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本文是采用Mar angoni效应来实现抛光硅片的干燥过程遇到的颗粒问题,并对其影响因素进行研究。研究过程中,可以在I PA携带N2压力为15PSI,DI水慢排速率为1mm/s,慢排完毕后I PA喷雾持续时间为180S,热N2压力为10PSI的情况下,得到的干燥效果最佳。
IPA干燥过程中影响颗粒因素的研究
【摘 要】
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本文是采用Mar angoni效应来实现抛光硅片的干燥过程遇到的颗粒问题,并对其影响因素进行研究。研究过程中,可以在I PA携带N2压力为15PSI,DI水慢排速率为1mm/s,慢排完毕后I PA
【机 构】
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杭州士兰集成电路有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2019年3期
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