【摘 要】
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近年来,作为一种新型的宽禁带半导体材料,碳化硅因其出色的物理及电特性,正越来越受到产业界的广泛关注。碳化硅电力电子器件的重要系统优势在于具有高压（达数万伏）高温（大于500
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近年来,作为一种新型的宽禁带半导体材料,碳化硅因其出色的物理及电特性,正越来越受到产业界的广泛关注。碳化硅电力电子器件的重要系统优势在于具有高压（达数万伏）高温（大于500℃）特性,突破了硅基功率半导体器件电压（数kV）和温度（小于150℃）限制所导致的严重系统局限性。随着碳化硅材料技术的进步,各种碳化硅电力电子器件被研发出来,由于受成本、产量以及可靠性的影响,碳化硅电力电子器件率先在低压领域实现了产业化,目前的商业产品电压等级在（600~1700）V。
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