【摘 要】
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高精度的光电式刻划控制系统是制作高密度母光栅的关键技术,以光栅干涉仪为控制核心,设计了光电式的光栅刻划控制系统,并对可能产生的加工误差进行了初步的分析;采用该控制系
【机 构】
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上海交通大学制造技术与自动化装备研究开发中心,上海交通大学制造技术与自动化装备研究开发中心,上海交通大学制造技术与自动化装备研究开发中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 上海 200030
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高精度的光电式刻划控制系统是制作高密度母光栅的关键技术,以光栅干涉仪为控制核心,设计了光电式的光栅刻划控制系统,并对可能产生的加工误差进行了初步的分析;采用该控制系统的光栅刻划实践表明,所设计的光电式刻划控制系统已完全达到了高密度衍射光栅的亚微米栅距分度要求。
The high-precision photoelectric scoring control system is the key technology for making high-density female grating. The grating-controlled interferometer is the core of the control system. The photoelectric grating grating control system is designed and the possible machining errors are analyzed preliminarily . The grating scribing practice using this control system shows that the designed electro-optical scribing control system has completely met the sub-micron pitch indexing requirement of high-density diffraction grating.
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