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期刊论文
低损耗高Q值声表面波谐振器
低损耗高Q值声表面波谐振器
来源 :电讯技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Tiger7
【摘 要】
:
介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果.其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5 000以上,无载Q值可达20 00
【作 者】
:
周卫
【机 构】
:
电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
:
电讯技术
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
Q值
声表面波谐振器
低损耗
原理
实验结果
高Q
横波
SAW devices
Rasonator
Qualityfactor(Q factor)
Lo
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介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果.其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5 000以上,无载Q值可达20 000以上.
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