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介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果.其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5 000以上,无载Q值可达20 000以上.
低损耗高Q值声表面波谐振器
【摘 要】
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介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果.其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5 000以上,无载Q值可达20 00
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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电讯技术
【发表日期】
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2004年5期
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