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电子束曝光机的纳米图形生成技术
电子束曝光机的纳米图形生成技术
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ymlazy64
【摘 要】
:
电子束曝光机是纳米构图技术的重要途径之一。本文简要说明利用电子束曝光机制作纳米图形的优势及需要解决的问题。
【作 者】
:
顾文琪
王理明
【机 构】
:
中国科学院电工研究所
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年S1期
【关键词】
:
?
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电子束曝光机是纳米构图技术的重要途径之一。本文简要说明利用电子束曝光机制作纳米图形的优势及需要解决的问题。
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