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利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法，在镀金属钛层的陶瓷基底上面，调整优化沉积参数，制备出了碳膜。通过各种仪器分析了碳膜的内部结构和表面形貌，证明该碳膜是微米金刚石薄膜。进一步将微米金刚石薄膜作为场发射阴极材料，测试了其场致电子发射特性。稳定发射状态下的开启电场为1.15 V/μm，在3.35 V/μm的电场下，其场发射电流密度为0.81 mA/cm2，发射点密度约为104/cm2。并对其发射机理进行了研究。