用混合测量法检定正、负微米组量块

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立式接触式干涉仪通常用于比较测量法测量量块,很少考虑混合测量法的应用.而一般小型企业不建立正、负微米组标准量块.只有在83块组标准量块的情况下,才运用混合测量法,可使正、负微米组量块的检定问题得到解决.利用立式接触式干涉仪刻度上±50分度值(分度值取0.1μm时)以混合测量法进行检定正、负微米组量块中心长度尺寸和平面平行性尺寸.(1)取83块组标准量块中的1.0mm块,将干涉仪"零位"线对准刻度中的"0值",分别进行检定1.000mm、1.001mm、1.
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