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采用微波加热技术和添加高分子分散剂,通过sol-gel法制备BST纳米粉体,再将纳米粉分散于BST溶胶中,通过分步甩胶工艺,制备BST陶瓷膜.XRD图谱显示,制备的BST陶瓷呈现典型的钙钛矿相结构;SEM照片显示,分步甩胶工艺制备的BST膜表面平滑,无裂纹.
BST陶瓷膜制备方法及优化
【摘 要】
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采用微波加热技术和添加高分子分散剂,通过sol-gel法制备BST纳米粉体,再将纳米粉分散于BST溶胶中,通过分步甩胶工艺,制备BST陶瓷膜.XRD图谱显示,制备的BST陶瓷呈现典型的钙钛
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年7期
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