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结合真空镀膜机自动控制系统应用背景,对其自动化控制系统进行全面探讨与设计,其中主要包括靶电源、抽真空、水冷设备、电流电压、温度、气体流量以及压力等自动测量系统。通过对该系统动态控制,实现设备自动化操作,提升企业成本管理效益。
真空镀膜机自动控制系统应用研究
【摘 要】
：
结合真空镀膜机自动控制系统应用背景,对其自动化控制系统进行全面探讨与设计,其中主要包括靶电源、抽真空、水冷设备、电流电压、温度、气体流量以及压力等自动测量系统。通
【机 构】
：
惠州市华阳光学技术有限公司
【出 处】
：
现代制造技术与装备
【发表日期】
：
2019年6期
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