一种基于表面势的非晶态InGaZnO薄膜晶体管核心紧凑模型

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 1次 | 上传用户:yyll2008
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考虑非晶态铟镓氧化锌薄膜晶体管(Amorphous InGaZnO thin film transistors,a-InGaZnO TFTs)指数分布的带尾态和深能态,基于表面势的显式解,建立了a-InGaZnO TFTs的核心紧凑模型。解析地求解泊松方程,得到表面势的显式解,与数值迭代算法的计算结果进行比较,其绝对误差小于10-5 V,且提高了计算效率;利用高斯定理与薄层电荷模型,推导漏源电流的解析解;最后对漏电流实验数据进行拟合,提出的模型与实验数据符合得较好,能准确预测a-InGaZnO TF
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