2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. Effect of Rapid Thermal Process on Oxygen Precipitates in Heavily Sb-Doped Silicon Wafer

Effect of Rapid Thermal Process on Oxygen Precipitates in Heavily Sb-Doped Silicon Wafer

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：newtonmark

【摘 要】

：

Oxygen precipitates in heavily Sb-doped silicon after rapid thermal process (RTP) in Ar ambient were investigated by RTP at high temperature following annealing

【作 者】

：

Sun Shilong Hao Qiuyan Zhao L 

【机 构】

：

InstituteofInformationFunctionalMaterials

【出 处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

OXYGEN PRECIPITATES VACANCY RTP DZ heavily Sb-doped silicon 

【基金项目】

：

Projects supported by the National Natural Science Foundation of China (50572022), Natural Science Foundation of Tianjin, and Natural Science Foundation of Hebei Province (E2005000057)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

Oxygen precipitates in heavily Sb-doped silicon after rapid thermal process (RTP) in Ar ambient were investigated by RTP at high temperature following annealing at 800 ℃ for 4 h and 1000 ℃ for 16 h. RTP temperature and cooling rates were changed from 1200

其他文献

混凝土强度达不到设计要求的原因分析和控制措施

混凝土在工程建设中广泛应用，其强度是评定混凝土工程质量的主要依据之一，是反映施工管理水平的一个综合指标．因施工不当引起的混凝土强度不足，使结构的承载能力和刚度下降，挠曲变

期刊

混凝土强度分析控制措施

Thermochemical Properties of Ternary Complex Yb[（C5H8NS2）3（C12H8N2）]

期刊

Yb[(C5H8NS2)3(C12H8N2)]稀土热化学性能三元化合物APDChydrous ytterbium chloride ammonium

关于建筑施工企业信息化建设的问题及建议

本文主要阐述建筑企业的发展现状,并分析信息化对建筑企业的作用,提出在信息化建设过程中需要注意的问题以及相关建议。

期刊

建筑企业信息化建设建议

车用传感器实验教学研究

在分析了现代汽车电子控制技术中车用传感器重要性的基础上,设计了车用传感器实验教学的教学方案及相应的软件实验设备配置方案,对提高传感器的实验教学有一定的指导作用.

期刊

车用传感器实验教学辅助教学软件

《农业机器运用管理学》教材中的几个问题

对农业机器运用管理学教材中几个问题进行了探讨，对联合收割机最大作业速度的计算公式进行了修正，对线性规划法配血农机具的方法提出了改进意见。

期刊

作业速度线性规划整数规则农机运用教材

加速固定资产折旧方法的探讨

通过对我国固定资产现状的分析，阐明了实行加速折旧方法的必要性和可行性；并就企业如何提高固定资产折旧率的问题进行了探讨；同时对加速固定资产折旧方法进行了介绍。

期刊

固定资产折旧企业

无缝隙护理管理在肝硬化患者护理中的应用效果分析

目的分析无缝隙护理管理在肝硬化患者护理中的应用效果。方法选取我院收治的肝硬化患者参与本次研究,入选病例均来自2016年1月至2017年6月,总病例数为70例,采取随机双盲法将

期刊

肝硬化无缝隙护理管理常规护理管理应用效果

城市电网智能调度故障辅助决策系统设计开发

介绍了一种可应用于城市电网调度部门的故障辅助决策系统软件,该软件通过故障诊断、故障恢复以及决策信息可视化三个环节辅助调度员进行事故处理决策。故障诊断环节通过分层

期刊

智能调度故障诊断故障恢复辅助决策可视化

哈尔滨市水田作业机械化的思考

自８０年代以来，哈尔滨市水田种植面积迅速增加，目前已达到２６．７万ｈｍ＾２，占总播种面积的２０％左右。为此，作者论述了水田作业机械化已个备的条件和基本实现水田作业机械化的思路，提出了实现水田机械化

期刊

水田作业机械化水稻生产机械化哈尔滨市

农机企业扭亏增盈的探讨

农机企业扭亏增盈的探讨崔宝恒（黑龙江省佳木斯市农机管理局目前国家对农业的倾斜政策，为农机企业的振兴发展和扭亏增盈带来了难得的历史机遇，同时也为农机企业的生产经营创造了

期刊

农机企业扭亏增盈经营改革