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期刊论文
低电阻p—DBR结构的模拟分析
低电阻p—DBR结构的模拟分析
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:willamshao520
【摘 要】
:
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的
【作 者】
:
马丽娜
郭霞
盖红星
渠红伟
董立闽
邓军
廉鹏
沈光地
【机 构】
:
北京工业大学电子信息与控制工程学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
渐变布拉格反射器
渐变形状
价带势垒
graded DBR
grading profile
valence band barrier
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划(863计划),国家重点基础研究发展计划(973计划),北京市自然科学基金
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设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响.利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合.
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