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美国能源部（DOE）下属布鲁克海文国家实验室的研究人员采用电子束印刷工艺，成功制造出了尺寸仅1nm的印刷设备，创造了新的世界纪录。
美国实现1nm制程工艺 突破半导体工艺极限
【摘 要】
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美国能源部（DOE）下属布鲁克海文国家实验室的研究人员采用电子束印刷工艺，成功制造出了尺寸仅1nm的印刷设备，创造了新的世界纪录。
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2017年11期
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