【摘 要】
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We investigate the effect of N2 addition during sputtering on the microstructure and magnetic properties of FePt-Al2O3 thin films. The texture of FePt phase in
【机 构】
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Research Institute of Magnetic Materials, Lanzhou University, Lanzhou 730000“,”Department of Informa
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We investigate the effect of N2 addition during sputtering on the microstructure and magnetic properties of FePt-Al2O3 thin films. The texture of FePt phase in FePt-Al2O3 thin films changes from (111) to a more randomorientation by N2 addition during sputtering. The ordering temperature of FePt phase reduces about 100℃ withappropriate N2 partial pressure. A larger coercivity of 6.0 × 105 A/m is obtained with N2 partial pressure about15%. Structural analysis reveals that a small quantity of Fe3N phase forms during sputtering and the releaseof N atoms during the post annealing induces a large number of vacancies in the films, which benefits to thetransformation of FePt phase from fcc to fct.
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